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真空機組的操作順序
真空機組
的操作順序如下:
1)機組中無旁通閥時,應先開動水環泵,被抽系統中的氣體由羅茨泵(氣體推動羅茨泵轉子自行轉動,如同流量計一般)進入水環泵后再排至大氣,待水環泵的吸入壓力(如串聯有大氣泵,則為大氣泵的吸入壓力)達到羅茨泵的起初規定值時(即允許排氣壓力),始啟動羅茨泵,機組正式運轉,開始工作。
2)機組中有旁通閥時,如圖5所示,先啟動水環泵,接著開動羅茨泵,此時,羅茨泵進排氣壓差較大,旁通閥自動開啟,被抽容器中的氣體一部分經過旁通閥進入水環泵,另一部分在羅茨泵的作用下通過該泵也進入水環泵,顯然抽氣速率增加,這樣很快達到羅茨泵的預真空,進排氣壓差較小,閥門自動關閉(或人工關閉),機組正式工作。這種方法能大大縮短預抽時間,但設備較復雜。
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