特殊工況下真空泵機組的選配問題：
①抽除含有大量水蒸氣的混合氣體，或者相似具有較高蒸氣壓的氣體，如：乙醉、鹵代烴等。抽除這類氣體采用羅茨泵與水環泵的機組或者是羅茨泵與氣冷直排大氣羅茨泵的機組均可。
但是，只需被抽氣體成分不毀壞前級泵油，抽除這類氣體*經濟的設計選擇是羅茨泵與旋片泵組成的機組，在羅茨泵的進出口分別串聯冷卻器，使大量過飽和蒸汽在冷卻器中冷凝下來排走，假如前級泵采用像Ｘ－１５０單級旋片真空泵這種熱泵，機組適用性更強。
②對抽除高沸點物質的氣體，如：丙三醇（Ｃ３Ｈ８Ｏ３）等氣體，為防止這類氣體進入羅茨泵凝結堆積下來，必需進步羅茨泵的溫度，如充入高溫加熱的氮氣來進步泵溫。但應避免轉子因過熱而卡死。
③*多見的特殊工況是抽除含有大量灰分或顆粒狀雜質的氣體，普通處置辦法均應在機組入口前加裝除塵器，除塵器的選擇應依據氣體含塵量幾和塵粒大小等要素，并留意除塵器在構造設計上保證既要到達除塵目的，又要減少通導才能的損失。
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